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從工作原理去了解主動隔振臺

釋出時間☁₪:2022-08-19 點選次數☁₪:875
   主動隔振臺是由電氣進行控制·↟▩↟,透過反向力進行消除振動·↟▩↟,透過感測器進行檢測振動的頻率·↟▩↟,持續產生振動的隔離狀態·↟▩↟,有效進行消音作用╃☁。而被動隔振臺是由機械的裝置進行控制·↟▩↟,利用彈簧的彈性體進行有效減少振動·↟▩↟,這一系列的流程是由氣動系統實現的╃☁。
  
  工作原理☁₪:
  安裝有測量和製造裝置的地板或多或少會有振動╃☁。如果這些振動對裝置造成不利影響·↟▩↟,有效的解決方案則是使用隔振臺(減振臺)·↟▩↟,以便營造適合該裝置的條件╃☁。使用電氣控制·↟▩↟,透過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動╃☁。感測器不斷監測振動·↟▩↟,並基於該資訊·↟▩↟,執行器沿相反方向產生作用力·↟▩↟,並繼續產生最佳的振動隔離狀態╃☁。它擅長於10Hz以下的低頻範圍內的隔振╃☁。
  內部結構有彈簧零件·↟▩↟,主要目的是利用可變形的作用進行吸收能量·↟▩↟,從而減少裝置上的振動·↟▩↟,雖然效果很好·↟▩↟,但共振放大之後就會有些嚴重;除此之外·↟▩↟,還有橡膠材質·↟▩↟,跟彈簧的一樣·↟▩↟,主要是透過變形吸收熱量·↟▩↟,不同的是·↟▩↟,橡膠能吸收各個方向的;就是一個氣動平臺的系統·↟▩↟,透過壓縮空氣活塞來減少地面的振動╃☁。
  
  主動隔振臺採用先進的隔振技術·↟▩↟,適用於任何研究情況下·↟▩↟,可以隔離6個自由度方向上的振動·↟▩↟,包括水平和垂直方向╃☁。平臺利用控制器內的壓電加速度感測器來感測外界傳入的振動·↟▩↟,透過將外界的壓力資訊轉換為電訊號傳送至隔離模組中的壓電換能器中·↟▩↟,然後改換能器產生一個與傳入壓力大小相等·↟▩↟,相位相反的壓力訊號來消除傳入振動╃☁。隔振系統利用一個反饋迴路來消除隔振系統的機械共振╃☁。可為實驗室中對震動敏感的裝置如電鏡·↟▩↟,光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動·↟▩↟,提供穩定的測試環境╃☁。
  
  應用範圍☁₪:
  超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
  光刻工具
  高精度計量工具
  光譜儀器

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